ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка технологии получения высокочистого поликристаллического кремния силановым методом

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Б.Н.Мукашев
Work head: М.Ф.Тамендаров
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0204РК00546
Тіркелген номер: 0104РК00062
негізгі сөздер: Кремний, Полупроводники, Алюминотермия, Силан, Кремнезем, Шлаки, Фосфорные шлаки, Чистые вещества,