Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка технологии получения высокочистого поликристаллического кремния силановым методом

Руководитель проекта: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: М.Ф.Тамендаров
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0204РК00546
Регистрационный номер: 0104РК00062
Ключевые слова: Кремний, Полупроводники, Алюминотермия, Силан, Кремнезем, Шлаки, Фосфорные шлаки, Чистые вещества,