ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Производство полупроводниковых сенсоров газа и индикационных устройств на их основе

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Поляков А.И.
Work head: Д.М.Мухамедшина
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0201РК00812
Тіркелген номер: 0101РК00643
негізгі сөздер: Сенсоры газа, Магнетронное распыление, Тонкие пленки [электрон.], Полупроводники, Индикаторы бытового газа, Пленочные полупроводники,