Изучение роли поверхностных и объемных процессов в формировании электрических характеристик тонкопленочных полупроводниковых структур и возможности их использования для создания новых сенсоров
Исследованы поверхностные и объемные процессы в тонкопленочных полупроводниковых структурах на основе диоксида олова. Газочувствительные пленки изготовлены методом магнетронного распыления. Показана возможность улучшения параметров сенсоров газа на основе пленок из диоксида олова.
