С использованием электролитов содержащих гексафторсиликат водорода получены группа образцов наноструктурированного пористого кремния при различных концентрациях и длительности травления. Получены результаты исследовании морфологии поверхности, также оптические спектры (отражение, спектры комбинационного рассеяния, фотолюминесценция) полученных образцов пористого кремния в растворе содержащий гексофторсиликат водорода.
