Изучены особенности формирования различных структурных фаз SiC в условиях высоких температур >1300°С, и проанализировано влияние различных параметров синтеза на формирование структур. Поставленные цели и задачи за отчетный период полностью достигнуты.
С использованием высокотемпературной электропечи в атмосфере газа СО синтезированы монокристаллические и нанокристаллические фазы карбида кремния при различных условиях. Изучено влияние температуры, давления и длительности синтеза на структурное качество и фазовый состав полученных пленок.
