Выявлено, что кремний существенно влияет на формирование структуры а-С пленок, и это влияние еще зависит от условий синтеза. Показано, что кремний формирует наночастицы гексагональной структуры карбида кремния в аморфной алмазоподобной углеродной матрице. Также выявлено влияние кристаллических наночастиц родия на структуру и оптические свойства синтезируемых пленок.