Была собрана и налажена установка на основе комбинированного искрового и барьерного разряда. Для генерации стабильного источника прекурсора в плазменной среде была разработана схема импульсного искрового разряда. Были изучены свойства плазмы при обработке поверхности различных материалов и подобраны оптимальные условия. Были исследованы свойства и параметры плазмы и обрабатываемых материалов с различной проводимостью и полимеров при различных температурных режимах для оптимизации процесса. Исследованы структурные, электрические и оптические свойства плазмы при взаимодействии с поверхностью полимеров. Осажденный материал на поверхности полимера был исследован с помощью различных методов