Изучено влияние различных параметров и концентраций возможных примесей на морфологию поверхностей нанокластерных полупроводниковых пленокб в частностиб на распределение полупроводниковых наноструктур по высотею Получены модели поверхностей полупроводников с учетом влияния фононов на взаимное расположение нанокластеров в период их формированияю Показана возможность классификации наноструктур по показателям скейлингаб входящим в исходную систему отображенийю