Отработаны процессы снятия оксидного слоя, текстуризации поверхности кремниевой подложки, осаждения слоев аморфного кремния, оксида индия-олова и контактов. Измерены вольтамперные характеристики, квантовая эффективность, характеристики Suns-Voc полученных солнечных элементов. Проведено моделирование солнечных элементов с оптимизацией толщины слоя аморфного кремния собственной проводимости. Анализирована зависимость выходных характеристик солнечных элементов от толщины и уровня легирования.