Исследованы морфология, фотолюминесценция, оптические и электрические свойства образцов. Отмечено, что максимальным пропусканием (90 %) обладают плҒнки с наибольшим содержанием примеси. Определены технологические условия направленного формирования слоев с необходимой морфологией. Предварительный отжиг в вакууме позволяет значительно улучшить электрические характеристики. Отработана технология осаждения прозрачных, однородных тонких плҒнок на основе оксидных полупроводников.
