Представлена разработана технология получения покрытий из пористых тантала и вольфрама, легированных добавками ниобия и молибдена. Обосновано влияние размерного фактора на процесс наноразмерного легирования. Показано, что после напыления покрытие имеет аморфную стеклообразную структуру, которая после термообработки становится интерметаллидной кристаллической. Созданы физическая и химическая модели синтеза интерметаллидных покрытий.