Проведена очистка держателя образцов и элементов вакуумной камеры от загрязнений предыдущих процессов напыления. Сфокусирован факел эксимерного лазера на керамическую мишень. Изучено влияние условий нанесения на структурные изменения в тонких пленках твердооксидного электролита. В качестве подложечного материала использована поликристаллическая никелевая фольга. Определены толщина и плотность осажденных пленок. Показано, что повышение энергии лазера приводит к образованию грубой поверхности с квазисферическими образованиями микронных размеров.