Исследованы аксиально-симметричные электростатические анализаторы энергий заряженных частиц. Проведен расчет и анализ электронно-оптических параметров электростатических гексапольно-цилиндрических и декапольно-цилиндрических энергоанализаторов потоков заряженных частиц. Предложен энергоанализатор, комбинированный из гиперболического и цилиндрического зеркал, изучена возможность его перевода в режим двойного спектрографа по энергии и углу. Рассчитаны новые анализаторы потоков заряженных частиц с высокими параметрами для экспрессного и информативного анализа поверхности твердого тела.