Созданы нанофильтры для очистки воды и газов путем облучения ускоренными кластерными ионами аргона и смеси аргона с другими газами пленок графена, оксида графена, графено- и алмазоподобных углеродных наноматериалов, нитрида бора и дисульфида молибдена. Показано, что кластерные ионы со средним размером 2000 атомов аргона в кластере, ускоренные до энергии 30 кэВ, способны образовать отверстия в графене со средним диаметром 13 нм, что намного меньше, чем отверстия, получаемые традиционными способами (около 100-200 нм). Оптимизированы условия облучения кластерными ионами.