Установлены параметры диффузионного взаимодействия пленок ниобиевых и танталовых сплавов с медными газопроницаемыми подложками. Теоретически обосновано и экспериментально подтверждено, что при отжиге медных подложек с нанесенными на них пленками твердых растворов молибдена и вольфрама в тантале и ниобии при температуре эксплуатации мембран диффузионное взаимодействие между ними не развивается. Определена водородопроницаемость пленок ниобиевых и танталовых сплавов, полученных методом магнетронного распыления на газопроницаемые подложки. Отмечено, что наименьшее снижение водородопроницаемости наблюдается при нанесении пленок твердых растворов вольфрама в тантале. Разработана и создана установка для скоростной сварки фольг тантала и ниобия с газопроницаемыми подложками в атмосфере аргона.