ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Исследование структурно-физических свойств твердых пленок карбида кремния SiC[x] и карбонитрида кремния SiC[x]N[y], синтезированных ионно-лучевыми методами

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Бармагамбетов Б.З.
Work head: Бейсенханов Н.Б.
: Казахстанско-Британский технический университет
Инвентарлық номер: 0216РК01570
Тіркелген номер: 0115РК02690
негізгі сөздер: Кремний*полупроводники*карбид кремния*плазма*фазовые превращения*ионная имплантация*ионно-лучевое распыление*магнетронное распыление