При помощи метода магнетронного осаждения отработаны технологические режимы получения покрытий нитридов Nb-N, Ti-N, Nb-Ti-N. Установлены структура и фазовый состав, полученных покрытий из двойных нитридным систем, что позволит разработать основы создания новых видов высокотвердых и износостойких защитных покрытий. Проведена работа по определению критического размера частиц металла, при котором происходит термофлуктуационное плавление. Отработаны основные режимы получения двойных нитридных систем тугоплавких и переходных металлов.