Исследована технология синтеза углеродных и кремневых частиц и наноструктурированных материалов из газовой среды в ВЧЕР плазме. Разработан новый метод синтеза наночастиц кремния и углерода из газовой фазы. Преимущество такого метода заключается в чистоте конечного продукта, высоком выходе порошков, получении композиционного материала и монодисперсных 3-х мерных наночастиц, то есть частиц имеющих одинаковые размеры. Разработан экспериментальный стенд газоразрядной плазмы для синтеза углеродных и кремниевых наночастиц и наноструктурированных композиционных материалов в комплексной плазме на основе плазмохимического метода в плазме высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР). Определены оптимальные режимы разряда для синтеза газофазным методом и приведены различные методы диагностики ВЧ газового разряда и параметров пылевой плазмы.