Энергетический спектр и термическая устойчивость собственных и примесных дефектов в кремнии
Full Name of the work head: Абдуллина Х.А.
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллина
: Физ.-техн.ин-т НАН РК
Inventory number: 0295РК00293
Registration number: 0194РК00013
Keywords: монокристаллический кремний, дефекты, температурная стабильность, спектры, структуры, исследования,
Объект исследования: монокристаллический кремний, облученный частицами высоких энергий при температуре 77 К. Цель: исследование спектра и природы радиационных дефектов. Обнаружены новые радиационные дефекты. Изучены спектры, области температурной стабильности, структура и природа дефектов в кремнии. Область применения: полупроводниковая электроника.