Исследование рынка оборудований по изготовлению пористых анодов на основе никеля для твердооксидных топливных элементов показало, что широкое распространение получили варианты модификации поверхностного слоя пористых анодных подложек с целью изменения размера пор их приповерхностных слоев осуществляемый методом импульсной пучковой обработки. Для этого используется источник, генерирующий низкоэнергетичный сильноточный пучок с определенными параметрами энергий и других характеристик. Наряду с литографическими методами формирования наноструктур развивают методы, основанные на процессах самоорганизации. К ним относятся выращивание нанокристаллов из газовой фазы и растворов, термическое или лазерное осаждение, химические методы, включающие термические, гидротермические и карботермические реакции, а также электрохимические. Разработана последовательность выполнения отдельных операций, метод фотолитографии является практически одинаковым.