Спроектирована, собрана и отлажена установка импульсного отжига в контролируемой атмосфере, мощностью 6 кВт, с водяным охлаждением, со временем выхода на рабочую температуру не более 10 секунд. Разработан метод наноструктурирования поверхности кремния n-типа и солнечного кремния путем селективного травления, инициированного металлическими нанокластерами, отработаны режимы синтеза металлических наночастиц с контролируемой морфологией. Отработаны методы формирования диффузионных слоев на исходных и нанотекстурированных поверхностях кремния. Определены условия подготовки и проведения диффузии, при которых получаются качественные p-n-переходы методом быстрой диффузии в образцах кремния n- и р-типа проводимости. Проведено исследование структуры и морфологии образцов текстурированного кремния, полученного химическим селективным травлением, инициированным металлическими кластерами. Проведено измерение оптических и фотолюминесцентных свойств синтезированных материалов с наноструктурированной поверхностью в зависимости от технологических условий синтеза.