ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Исследование механизма роста нано- и микрочастиц в плазме высокочастотного разряда при различных модуляциях рабочих циклов

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Батрышев Дидар
Work head: 
: НАО "Атырауский университет имени Халела Досмухамедова"
Инвентарлық номер: 0220РК01781
Тіркелген номер: 0120РК00241
негізгі сөздер: плазменные технологии,нанотехнология,высокочастотный разряд,модуляция рабочих циклов,плазмохимический синтез