ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Синтез тонких алмазных плёнок в плазме высокочастотного разряда при высоких температурах подложки

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Нусупов Каир Хамзаевич
Work head: 
: АО «Казахстанско-Британский технический университет»
Инвентарлық номер: 0218РК00766
Тіркелген номер: 0118РК00994
негізгі сөздер: Поликристалл,монокристалл,алмаз,высокая температура,высокая частота,водород,метан