Освоение новой технологии по электронной промышленности для получения фосфидгаллиевой приборной структуры
Full Name of the work head: Сералиев Т.
Исполнители проекта: Т.Сералиев
: Жамб.технол.ин-т легк.и пищ.пром-сти
Inventory number: 0295РК00145
Registration number: 0195РК00271
Keywords: фосфидгаллиева, прибор, структура, технология, фосфидгаллиева, прибор, структура,
Собрана технологическая установка. Фосфидгаллиевая приборная структура получена методом газофазной эпитаксии в хлоридной системе. Область применения: электронная промышленность.
