Разработана технология газоэпитаксиального процесса для создания фосфидгаллиевых приборов, используемых в условиях низких температур. Изготовлены узлы технологической установки: газовый блок, нагревательная печь, кварцевый реактор и др. Область применения: электронная промышленность.
