Исследованы покрытия, состоящие из систем тройных нитридов тантала, вольфрама, молибдена, алюминия и циркония. При помощи метода магнетронного осаждения отработаны технологические режимы получения покрытий сложных нитридов Ta-W-N, Ta-Mo-N, Ta-Zr-N, Ta-Al-N, W-Mo-N и W-Zr-N. Проведены рентгеноструктурные исследования полученных покрытий. Установлены их структура и фазовый состав. Получены данные по микротвердости и коррозионной стойкости покрытий.*