Разработка технологий и создание вертикально-интегрированного производства поликремния и высокоэффективных солнечных элементов и модулей на базе полупроводникового кремния
Исследованы: силицидные сплавы из металлургического кремния; реактор синтеза силана, ректификационная колонна, газообразный моносилан, лабораторная установка по синтезу силана. Разработано техническое задание для процесса синтеза силана. Рассмотрена рективационная колонна для очистки моносилана от примесей. Определена оптимальная геометрическая конструкция реактора для максимального выхода силана. Проработан ряд конструкционных материалов и поставлены трубопроводы, фитинги, а также запорная арматура для использования в технологической линии синтеза и ректификации моносилана. Проработана модель вытяжной вентиляции с системой нейтрализации паров кислот и щелочей. Разработана система подачи реагентов и нейтрализации отходов для линии текструрирования.*