Проведено исследование влияния внешних полей (электрического, магнитного, температурного и поля упругости) на зародышеобразование, структуру и морфологию тонких углеродных пленок. Для определения конфигурации магнитной системы были проведены расчеты магнетронной распылительной установки. Распределение индукции магнитного поля над поверхностью мишени определялось с помощью программного комплекса моделирования двухмерных полей ELCUT. Спроектирована и собрана технологическая установка для исследования влияния внешних полей на структурообразование гетероэпитаксиальных углеродных пленок с разной степенью упорядоченности при выращивании методом дифференциального магнетронного распыления. Проведена серия экспериментов по напылению углеродных пленок на кремниевые пластины различной ориентации и на буферный слой меди с изменением величины магнитного поля над подложкой, а так же потенциала смещения. Полученные образцы исследованы методами спектроскопии комбинационного рассеяния света и атомно-силовой микроскопии. С целью изучения возможности синтеза углеродных структур на медных пленках другими методиками была проведена пробная серия экспериментов методом термического CVD. Для исследования морфологии образцов использовался автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения вместе с устройством для рентгеноспектрального микроанализа исследуемого образца.*