Новым результатом является использование нового критерия - радиуса расплавленной области, образующейся вдоль траектории иона - для оценки возможности формирования нанопористых слоев диоксида кремния и нитрида кремния при облучении быстрыми ионами. Обнаружен в спектрах фотолюминесценции оксидных слоев, облученных высокими флюэнсами ионов ксенона с энергией 133 МэВ, интенсивных полос в видимом диапазоне. Предварительно мы связываем их с формированием обогащенных кремнием нанокластеров в области ионных треков. Отработана методика вытравливания ионных треков путем обработки в 4 %-ном водном растворе фтористоводородной кислоты, исследована морфология поверхности химически обработанных образцов SiO[2]/Si, определены плотность и диаметры пор, вытравленных на месте ионных треков, а также их зависимость от времени обработки в растворе кислоты.*