Показано, что термообработка во всех случаях приводила к формированию нанопреципитатов, даже для структуры с избытком азота (параметр "х"=1,86). Анализ элементного состава отожженных образцов нитридных структур показал, что при термообработке не происходит заметной сегрегации атомов кремния на поверхности или границе раздела "пленка SiN[x] - подложка кремния" или перераспределения кремния (или азота) по глубине нитридных слоев после отжигов. Установлено, что сразу после осаждения в состав нитридных слоев входит водород. Прогрев при температурах от 800 град. С в течение часа приводит к дегидрогенизации нитрида.*