ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Исследование основных закономерностей порообразования и роста нанокристаллитов пористого кремния при длительном анодном травлении, обусловленных квантово-размерными эффектами на локальных микроскопических участках атомно-шероховатой поверхности реального

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Токмолдин С.Ж.
Work head: Рябикин Ю.А.*
: Физико-технический институт
Инвентарлық номер: 0213РК02330
Тіркелген номер: 0112РК00940
негізгі сөздер: кремний*монокристалл*осаждение металлов*нанокристаллиты*атомно-шероховатая поверхность*мозаичная структура*