Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Исследование основных закономерностей порообразования и роста нанокристаллитов пористого кремния при длительном анодном травлении, обусловленных квантово-размерными эффектами на локальных микроскопических участках атомно-шероховатой поверхности реального

Руководитель проекта: Токмолдин С.Ж.
Исполнители проекта: Рябикин Ю.А.*
Организация: Физико-технический институт
Инвентарный номер: 0213РК02330
Регистрационный номер: 0112РК00940
Ключевые слова: кремний*монокристалл*осаждение металлов*нанокристаллиты*атомно-шероховатая поверхность*мозаичная структура*