Осуществлена разработка, расчет, проектирование, изготовление, сборка и наладка напылительной установки для получения различных видов пленок и покрытий, характеризующихся общим конструктивным решением и максимальной унификацией узлов и деталей. Модифицированная для нанесения чередующихся пленок за один цикл вакуумная установка содержит вакуумный пост и стойку управления. Получен высокий вакуум. Показана принципиальная возможность использования метода фотоактивации атомов углерода для получения алмазоподобных полупроводниковых пленок. Создана многофункциональная установка с уникальными техническими возможностями, способной синтезировать различные нанокристаллические структуры с заданными размерами. *
