Установлены основные стадии формирования тонких пленок CdS приолизом аэрозоля унитиолатных комплексов кадмия на кварцевой подложке. Показано влияние исходной соли кадмия на микроморфологию полученных пленок. Найдено, что тип структуры пленок определяется химическим строением координационных прекурсоров. Показано, что температура подложки в пределах 350-420 град С способствует формированию СdS в структуре сфалерита, а при температурах 420-500 град С - в структуре вюртцита. Исследован характер влияния легирующих добавок (катионы щелочных металов и анионы галогенов), а также температуры осаждения, на электропроводность и фотопроводимость пленок CdS в количестве 10 ат.% кратно увеличивает значение удельной электропроводности пленок, а увелечение количества вводимых атомов щелочных металлов снижает значение удельной электропроводности