Разработка и создание наноматериалов и сплавов на основе плазменной и ионно-лучевой технологий для базовых отраслей экономики
Жетекшінің аты-жөні, тегі: Нусупов К.Х.
Work head:
: Казахстанско-Британский технический университет
Инвентарлық номер: 0212РК02611
Тіркелген номер: 0112РК02688
негізгі сөздер: Ускоритель тяжелых ионов, монитор пучка, цилиндр Фарадея, вакуумный клапан, экстрактор ионов, катод, ионная оптика, эспандер, фокусировка пучка, дублет электростатических линз, тигель, напылители, покрытия, пленка,
Разработана напылительная установка для получения различных видов пленок и покрытий, характеризующихся общим конструктивным решением и максимальной унификацией узлов и деталей, модифицированная для нанесения чередующихся пленок за один цикл вакуумная установка содержит вакуумный пост и стойку управления. Установлена принципиальная возможность использования метода фотоактивации атомов углерода для получения алмазоподобных полупроводников пленок.
