Осуществлено комплексное исследование структурных и оптических свойств систем нанокристаллов в кристаллическом кремнии и в слоях диоксида кремния, на кремнии, полученных методом ионной имплантации и последующей термообработки. Изготовлено 9 партий экспериментальных образцов, содержащих кластерообразующие примеси.
