Исследование изменений физических свойств аморфного кремния при перекристаллизации
Full Name of the work head: Сванбаев Е.А.
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим.и теорет.физ.при КазГУ
Inventory number: 0297РК00467
Registration number: 0197РК00229
Keywords: аморфный, кремний, перекристаллизация, структура, модели,
Объект исследования: строение не- и поликристаллических полупроводников. Осуществлен поиск взаимосвязей между объемной долей кристаллитов, их средним размером и толщиной нарушенного слоя на поверхностях зерен, объемной долей атомов, имеющих нарушения межатомных связей. Построены однофазная модель структуры, графические зависимости, позволяющие оценить качество и толщину нарушенного слоя на поверхности пленок некристаллического материала.
