Физические свойства твердых тел по разделу "Получение и исследование пленок аморфного углерода"
Full Name of the work head: Сарсембинов Ш.Ш.
Исполнители проекта: О.Ю.Приходько
: НИИ эксперим.и теорет.физ.при КазГУ
Inventory number: 0297РК00464
Registration number: 0197РК00226
Keywords: аморфный, углерод, пленки, электрические, свойства, получение, исследование,
Исследовано влияние технологических параметров процесса магнетронного ионного распыления графитовой мишени в атмосфере инертного газа (аргона) на электрические свойства получаемых пленок аморфного углерода. Установлено, что изменение параметров пленок а-С в широких пределах и получение пленок с заданными свойствами от графито- до алмазоподобных происходят при изменении температуры подложки.
