Исследовано влияние технологических параметров процесса магнетронного ионного распыления графитовой мишени в атмосфере инертного газа (аргона) на электрические свойства получаемых пленок аморфного углерода. Установлено, что изменение параметров пленок а-С в широких пределах и получение пленок с заданными свойствами от графито- до алмазоподобных происходят при изменении температуры подложки.
