Найдены оптимальные режимы получения слоев кремниевых нанонитей с контролируемыми средними размерами, длиной и морфологией поверхности, что представляет значительный интерес при использовании таких нанонитей в оптоэлектронике. Изучены структурные свойства и определены геометрические параметры кремниевых нанонитей (диаметр нитей, толщина слоя). Исследованы механизмы роста слоя нанонитей, изучены временные зависимости толщины слоя кремниевых нанонитей и скорости их роста.