ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом

Жетекшінің аты-жөні, тегі: К.Ш. Чокин
Work head: Ахметов К.М.
: Физико-технический институт
Инвентарлық номер: 0211РК00752
Тіркелген номер: 0109РК00888
негізгі сөздер: наноструктуры, ионно-плазменный источник, имплантация ионов,