Локальное выделение энергии, вызывающее образование кратеров, происходит вследствие неравномерого распределения плотности электронного пучка. Распределение плотности пучка электронов имеет форму воронки, внутренние части которой нагреты выше температуры плавления. Форма и размеры зоны перегрева повторяют кратеры.
