ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом

Жетекшінің аты-жөні, тегі: К.Х.Нусупов
Work head: Н.Б.Бейсенханов
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0210РК00650
Тіркелген номер: 0109РК00888
негізгі сөздер: Электроды, Ионная имплантация,