Исследовано влияние захороненного барьерного слоя на процессы диффузии и фазовые превращения в системе "железо - бериллий" после последовательного изотермического отжига при температуре 700 {o}C. Установлена последовательность фазовых преобразований при последовательном изотермическом отжиге. Осуществлена имплантация ионов кислорода на различные глубины матриц из меди и нержавеющей стали 12Х18Н10Т, ионов углерода - в матрицу железа. Показано, что имплантированный ионами кислорода захороненный барьерный слой в матрице альфа-Fe замедляет взаимную диффузию атомов бериллия и железа.