Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом
Создан стабилизированный высоковольтный источник постоянного тока для производства полупроводниковых приборов и синтеза тонких наноструктурных пленок. Предложена структурная схема высоковольтного устройства. Проведены испытания кондуктора (высоковольтный электрод). При напряжении 400 кВ не обнаружен коронный разряд, что позволяет судить о надежной работоспособности кондуктора при 350 кВ. Спроектирована технологическая оснастка для изготовления электрода.
