Локальное выделение энергии, вызывающее образование кратеров, происходит вследстие неравномерного распределения плотности электронного пучка. Распределение имеет форму воронки, внутренние части которой нагреты выше температуры плавления. Форма и размеры зоны перегрева повторяют наблюдаемые кратеры.
