ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка технологии нанолитографии металлполиимидных пленок в качестве материала гибких электронных чипов микроконструкций

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Р.М.Искаков
Work head: В.Д.Кравцова
: Ин-т хим. наук им. А.Б. Бектурова
Инвентарлық номер: 0209РК01518
Тіркелген номер: 0107РК00549
негізгі сөздер: Нанолитография, Пленочные материалы, Металлизация полимеров,