Методами магнетронного распыления изготовлены пленки аморфного кремния, проведен их отжиг в присутствии алюминиевого катализатора, исследованы оптические и структурные свойства. Применение катализатора позволяет снизить температуру формирования кремниевых нанокристаллов до 300 {o}C.
