Изучена микротвердость полученных покрытий. Установлено, что микротвердость возрастает при увеличении толщины пленки до 6 мкм. В подпленочном слое при толщине покрытия свыше 2 мкм микротвердость основы так же повышается. Разработан способ определения поверхностного натяжения осаждаемых покрытий.
